停用
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| 中文名称: | 等离子刻蚀机(ICP) | ||
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| 英文名称: | ICP | ||
| 别名: | |||
| 规格型号: | 1600*1500*1470mm ICP-98C | ||
| 认证情况: | 暂无 | ||
| 仪器状态: | 报修暂停 | ||
| 仪器联系人: | 蔡世伟 | 联系人电话: | 010-61198040 |
| 联系人电子邮件: | yqingh@bupt.edu.cn | ||
| 收费标准: |
校外预约：0 元/ 小时 校内预约：0 元/ 小时 校内送样：0 元/ 小时 校外送样：0 元/ 小时 |
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| 关闭时段: | 时时开放 | ||
| 仪器说明文档附件: | 暂无附件 | ||
| 所属机组: | 不属于任何机组 | 是否独立运行: | 是 |
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